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半导体光学玻璃表面平整系统及工艺 

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申请/专利权人:四川蜀旺辰昇新材料有限责任公司

摘要:本发明公开了一种半导体光学玻璃表面平整系统及工艺,涉及玻璃技术领域。其技术方案为:包括涂膜装置、固化装置、淋酸装置、清洗装置和烘干装置,涂膜装置包括位于分别玻璃上下方的两个滚刷一,滚刷一上涂布有腐蚀玻璃表面的胶状物;固化装置包括固化室,固化室内设置有传输辊轮,玻璃置于传输辊轮上,固化室侧壁上设置有若干个冷风口;淋酸装置包括淋酸室,淋酸室内设置有传输辊轮,玻璃置于传输辊轮上,淋酸室内位于玻璃上方和下方分别设置有若干个喷淋头,向玻璃表面淋酸。本发明采用胶状物固化成膜,修补玻璃表面因划伤、欠点等造成的表面不平整,再利用混酸溶液对玻璃表面蚀刻,保证玻璃表面蚀刻的深度较为均匀,达到整体的表面平整。

主权项:1.半导体光学玻璃表面平整系统,其特征在于,包括涂膜装置、固化装置、淋酸装置、清洗装置和烘干装置,涂膜装置、固化装置、淋酸装置、清洗装置和烘干装置之间设置有传输辊轮9,玻璃1置于传输辊轮9上;涂膜装置包括位于分别玻璃1上下方的两个滚刷一2,滚刷一2上涂布有腐蚀玻璃1表面的胶状物;固化装置包括固化室3,固化室3内设置有传输辊轮9,玻璃1置于传输辊轮9上,固化室3侧壁上设置有若干个冷风口301;淋酸装置包括淋酸室4,淋酸室4内设置有传输辊轮9,玻璃1置于传输辊轮9上,淋酸室4内位于玻璃1上方和下方分别设置有若干个喷淋头401,向玻璃1表面淋酸;清洗装置包括依次设置的碱液清洗室5和超纯水清洗室6,碱液清洗室5和超纯水清洗室6内设置有传输辊轮9,玻璃1置于传输辊轮9上,玻璃1在碱液清洗室5和超纯水清洗室6中分别浸泡在碱液和超纯水中;烘干装置包括烘干室7,烘干室7内设置有传输辊轮9,玻璃1置于传输辊轮9上,烘干室7内设置有风刀。

全文数据:

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