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申请/专利权人：重庆理工大学

摘要：本发明公开了一种基于电场自耦合的直线位移传感器，包括动尺基体和定尺基体，动尺基体上且朝向定尺基体所在方向的一侧侧面上设置有一个或多个对极单元，对极单元包括至少三组沿动尺基体长度方向间隔排列的传感电极组，每组传感电极组包括沿动尺基体长度方向间隔设置的一个激励电极和一个感应电极；定尺基体上且朝向动尺基体所在方向的一侧侧面上设置有沿定尺基体长度方向排列的若干个调制单元组，动尺基体上的所有对极单元能够沿定尺基体长度方向分别与定尺基体上相同数量的相邻调制单元组相对应，每个调制单元组包括一个调制单元F和一个调制单元G，调制单元F能够沿定尺基体长度方向与对极单元中至少一组传感电极组相对应。

主权项：1.一种基于电场自耦合的直线位移传感器，包括相对且平行设置的动尺基体和定尺基体，动尺基体与定尺基体相对的一侧侧面相互平行且留有间隙，其特征在于：动尺基体上且朝向定尺基体所在方向的一侧侧面上设置有一个或多个对极单元，对极单元包括至少三组沿动尺基体长度方向间隔排列的传感电极组，每组传感电极组包括沿动尺基体长度方向间隔设置的一个激励电极和一个感应电极，每组传感电极中激励电极和感应电极之间的间距相同，所有的激励电极和感应电极为沿动尺基体长度方向交错间隔设置；当只有一个对极单元时，对极单元中的多组传感电极组为沿动尺基体长度方向均匀间隔排列；当对极单元的数量为多个时，所有的对极单元为沿动尺基体长度方向均匀间隔排列，并且对极单元中的多组传感电极组沿动尺基体长度方向均匀间隔排列，位于对极单元中沿动尺基体长度方向各排列顺序位置上的激励电极分别与其余对极单元中沿动尺基体长度方向排列顺序对应位置上的激励电极电连接在一起，所有的感应电极电连接在一起；定尺基体上且朝向动尺基体所在方向的一侧侧面上设置有沿定尺基体长度方向排列的若干个调制单元组，动尺基体上的所有对极单元能够沿定尺基体长度方向分别与定尺基体上相同数量的相邻调制单元组相对应，并且每个对极单元能够与一个调制单元组相对应，每个调制单元组包括一个调制单元F和一个调制单元G，调制单元F和调制单元G为不同材质制成，所有的调制单元F和调制单元G为沿定尺基体长度方向交错排列，调制单元F能够沿定尺基体长度方向与对极单元中至少一组传感电极组相对应。

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权利要求：

百度查询： 重庆理工大学 基于电场自耦合的直线位移传感器