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申请/专利权人：广西大学
摘要：本发明提供一种高纯金属钪及其靶材的制备方法。具体包括以下步骤：将99.999％的氟化钪置于高频感应炉内，低温段还原；还原得到的5N级钪置于中频感应炉内，高温段分离纯化，接着将得到的熔融态高纯稀土金属钪，置于真空悬浮熔炼炉的水冷铜坩埚中，进行更为充分的熔炼，浇铸到水冷模具中，得到相应纯度的高纯稀土金属钪铸锭；将金属钪铸锭通过高通量深过冷再轧制处理，得到相应纯度的高纯稀土金属钪溅射靶材。本发明方法解决了现有技术中高纯稀土金属钪的杂质去除效果欠佳、制备过程易污染；钪溅射靶材的致密度低、成型过程易氧化且加工困难等问题。
主权项：1.一种高纯稀土金属钪的制备方法，其特征在于，该方法包括以下流程步骤：a：将99.999％的氟化钪置于高频感应炉内，采用1500-1600℃低温段还原；b：还原得到的99.999％的钪置于中频感应炉内，采用1400-2600℃高温段分离纯化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广西大学 一种高纯金属钪及其靶材的制备方法
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