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申请/专利权人：合肥工业大学
摘要：本发明涉及金属氧化物半导体材料研究领域，具体为一种金属氧化物及其制备方法、气体传感器。一种金属氧化物的制备方法包括以下步骤：将预处理后的金属氧化物与表面活性剂反应，反应完成后将其放置于介质阻挡放电装置靠近负电极位置且不在放电区域内。并向介质阻挡放电装置中通入甲烷气体。通过介质阻挡放电装置制备的甲烷等离子体轰击金属氧化物材料，使金属氧化物粉末在原有结构的基础上具有疏松多孔的结构。孔隙结构的增多能够增加金属氧化物与气体的接触面积，同时甲烷等离子体中的碳原子掺杂在金属氧化物的表面，能够降低金属氧化物的反应活化能，增强金属氧化物对气体的吸附能力以及电子迁移率，提高制备出来的金属氧化物对气体的气敏性。
主权项：1.一种金属氧化物的制备方法，其特征在于，其包括以下步骤：对金属氧化物粉末进行预处理，再将预处理后的金属氧化物按比例加入表面活性剂中并进行搅拌，搅拌完成后从表面活性剂中分离出表面活性剂处理后的金属氧化物粉末，并用无水乙醇对表面活性剂处理后的金属氧化物粉末进行充分清洗并干燥，得到活化后的金属氧化物粉末；将活化后的金属氧化物粉末放置于介质阻挡放电装置中与负电极相连的绝缘介质上且活化后的金属氧化物粉末不在所述介质阻挡放电装置的放电区域内；再向所述介质阻挡放电装置中的反应室中通入一定量的甲烷气体，并接通所述介质阻挡放电装置的交流电源；在所述介质阻挡放电装置的交流电作用下，所述甲烷气体变成甲烷等离子体，活化后的金属氧化物粉末在所述甲烷等离子体的轰击下形成具有疏松多孔结构的金属氧化物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥工业大学 一种金属氧化物及其制备方法、气体传感器
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