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一种氯硅烷、硅烷与氢气混合气的分离回收系统及其工艺 

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申请/专利权人:内蒙古兴洋科技股份有限公司

摘要:本发明公开了一种氯硅烷、硅烷与氢气混合气的分离回收系统及其工艺。该系统包括依次连接的混合气缓冲罐、一级分离膜、二级分离膜和硅烷缓冲罐;还包括氢气缓冲罐,一级分离膜和二级分离膜分别与氢气缓冲罐连接。该工艺具体包括以下步骤:1将氯硅烷、硅烷与氢气混合气先通入混合气缓冲罐,然后通入一级分离膜;2将一级氢气通入氢气缓冲罐;3将氯硅烷、硅烷与剩余氢气混合气通入二级分离膜;4将二级氢气通入氢气缓冲罐;5将氯硅烷、硅烷混合气通入硅烷缓冲罐。本发明分离效率高,运行成本低,无废气排出,环境友好,具有良好的经济效益和社会效益。

主权项:1.一种氯硅烷、硅烷与氢气混合气的分离回收系统,其特征在于,包括依次连接的混合气缓冲罐、一级分离膜、二级分离膜和硅烷缓冲罐;还包括氢气缓冲罐,所述一级分离膜和所述二级分离膜分别与所述氢气缓冲罐连接。

全文数据:

权利要求:

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