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申请/专利权人：广东工业大学
摘要：本申请公开了一种氢气传感器及其制作方法、及氢气测量方法，其中制作方法包括提供硅衬底；在硅衬底的第一表面上形成第一氮化硅层以及在第二表面上形成第二氮化硅层，在第一氮化硅层上形成微型加热器以及测量电极；在微型加热器以及测量电极上覆盖第三氮化硅层；去除预设区域的第三氮化硅层以及第一氮化硅层，使微型加热器的焊盘以及测量电极及测量电极的焊盘均进行开窗，以及使硅衬底部分外露；在测量电极上形成氧化镍气敏材料层，以及刻蚀硅衬底，直至微型加热器的加热电极下方以及测量电极下方的第一氮化硅层与硅衬底完全分离并形成隔热空腔，得到氢气传感器。本申请可广泛应用于半导体技术领域。
主权项：1.一种氢气传感器制作方法，其特征在于，包括以下步骤：提供硅衬底；在所述硅衬底的第一表面上形成第一氮化硅层以及在第二表面上形成第二氮化硅层，其中，所述第一表面与所述第二表面为相对设置的两个表面；在所述第一氮化硅层上形成微型加热器以及测量电极；在所述微型加热器以及所述测量电极上覆盖第三氮化硅层；去除预设区域的所述第三氮化硅层以及所述第一氮化硅层，使所述微型加热器的焊盘以及所述测量电极及所述测量电极的焊盘均进行开窗，以及使所述硅衬底部分外露；在所述测量电极上形成氧化镍气敏材料层，以及刻蚀所述硅衬底，直至所述微型加热器的加热电极下方以及所述测量电极下方的所述第一氮化硅层与所述硅衬底完全分离并形成隔热空腔，得到氢气传感器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东工业大学 一种氢气传感器及其制作方法、及氢气测量方法
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