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一种基于自适应光谱补偿的激光吸收光谱测量系统和方法 

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申请/专利权人:北京航空航天大学

摘要:本发明涉及激光吸收光谱测量,特指一种基于自适应光谱补偿的激光吸收光谱测量系统和方法,基本结构包括光源模块、传输模块、光谱补偿模块、光电探测模块和控制模块。光源模块出射波长可调的激光;传输模块将激光传输到样品台,再将从样品台出射的激光传输至光谱补偿模块;光谱补偿模块将激光传输至光电探测模块并调整进入光电探测模块的光强;光电探测模块将接收到的激光转换为数据电信号并传输给控制模块;控制模块接收光源模块和光电探测模块的电信号并控制光谱补偿模块。本发明引入闭环负反馈控制和较低成本的光谱补偿模块,所实现的自适应光谱补偿使系统测得的背景光谱的幅值更接近光电探测模块的测量上限,进而降低了系统的动态范围噪声、探测器噪声以及散粒噪声,提高了系统的信噪比。

主权项:1.一种基于自适应光谱补偿的激光吸收光谱测量系统,其特征在于,所述系统由光源模块、传输模块、光谱补偿模块、光电探测模块和控制模块五部分组成;所述光源模块用于输出波长可调的激光和与所述激光输出同步的电信号;所述传输模块用于将所述激光传输到样品台,再将从样品台出射的激光传输至所述光谱补偿模块;所述光谱补偿模块包括可调狭缝和电动位移台,所述可调狭缝安装在电动位移台上并将狭缝宽度固定在与进入所述光谱补偿模块的激光光束直径相同的大小,所述电动位移台接收来自所述控制模块的控制电信号并根据所述控制电信号调整位移,进而调整所述可调狭缝对所述激光光束的遮挡比例,调整进入所述光电探测模块的激光光强;所述光电探测模块用于将接收到的激光光强值转换为数据电信号并传输给所述控制模块;所述控制模块与所述光源模块和所述光电探测模块连接,用于根据所述数据电信号计算出所需控制电信号并传输给光谱补偿模块,从而实现闭环负反馈控制功能,使背景光谱在整体上更接近所述光电探测模块的测量上限,进而降低了所述系统的动态范围噪声、探测器噪声以及散粒噪声,提高了所述系统的信噪比;与此同时,所述控制模块也用于对所述数据电信号进行数据处理,并计算激光吸收光谱。

全文数据:

权利要求:

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