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申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司
摘要：本申请涉及一种承载盘组件及晶圆检测装置。所述承载盘组件包括：承载件及底盘件，所述承载件具有沿预设方向相背设置的第一表面及第二表面，所述承载件还具有间隔排布的多个孔道，每个所述孔道分别贯穿所述第一表面及第二表面，所述第一表面用于承载待检测样品；所述底盘件设置于所述承载件的第二表面，所述底盘件与所述承载件围合成腔室，所述腔室分别连通所述多个孔道，所述腔室与所述多个孔道配合用于形成负压，以将所述待检测样品吸附于所述第一表面侧。所述承载盘组件能使待检测样品平整设置于所述承载件的第一表面侧。
主权项：1.一种承载盘组件，其特征在于，所述承载盘组件包括：承载件，所述承载件具有沿预设方向相背设置的第一表面及第二表面，所述承载件还具有间隔排布的多个孔道，每个所述孔道分别贯穿所述第一表面及第二表面，所述第一表面用于承载待检测样品；以及底盘件，所述底盘件设置于所述承载件的第二表面，所述底盘件与所述承载件围合成腔室，所述腔室分别连通所述多个孔道，所述腔室与所述多个孔道配合用于形成负压，以将所述待检测样品吸附于所述第一表面侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市森美协尔科技有限公司 承载盘组件及晶圆检测装置
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