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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所

摘要：本发明公开一种用于带电粒子运动通道的真空隔离装置，包括依次连接的辅助安装座、主安装座和隔离柱，隔离柱顶部设有差抽块；连杆的一端通过弹性连接组件固定在隔离柱内，连杆端部设有带电粒子通道管和弹性隔离组件，连杆的另一端活动设置在辅助安装座内，连杆外侧套设波纹管；主安装座内设有活塞，连杆贯穿活塞，主安装座侧部设有供气接头；通过供气接头向主安装座内充入气体，依靠气体压力驱动连杆左右移动；当带电粒子通道管与差抽块对齐时，带电粒子可从带电粒子发射源出发穿过隔离柱往下运动，当弹性隔离组件与差抽块对齐时，差抽块被密封隔断。本发明具有结构紧凑、密封性能好的特点，满足了小体积长阀杆高精密条件下的高真空隔离需求。

主权项：1.一种用于带电粒子运动通道的真空隔离装置，其特征在于，包括：辅助安装座（101）、主安装座（102）、隔离柱（106）、隔离块（107）、差抽块（109）、连杆（111）和波纹管（118）；所述辅助安装座（101）、主安装座（102）和隔离柱（106）依次连接固定，所述隔离柱（106）顶部与带电粒子发射源连接，隔离柱（106）顶部设有差抽块（109），隔离柱（106）底部与带电粒子注入装置连接；所述连杆（111）贯穿在辅助安装座（101）、主安装座（102）和隔离柱（106）之间，连杆（111）的一端通过弹性连接组件固定在隔离柱（106）内腔，且连杆（111）端部依次设有带电粒子通道管（123）和弹性隔离组件，连杆（111）的另一端活动设置在辅助安装座（101）内侧，在隔离柱（106）内腔中，连杆（111）外侧焊接波纹管（118）；所述主安装座（102）内腔设有活塞（103），连杆（111）贯穿活塞（103），主安装座（102）侧部设有供气接头（104）；通过供气接头（104）向主安装座（102）内腔充入惰性气体，依靠气体压力驱动活塞（103）在主安装座（102）内腔中左右往复移动，进而带动连杆（111）和波纹管（118）左右往复移动，当弹性连接组件处于原位状态、带电粒子通道管（123）与差抽块（109）同轴对齐时，带电粒子可从带电粒子发射源出发穿过隔离柱（106）往下运动，当弹性连接组件处于受力状态、弹性隔离组件与差抽块（109）同轴对齐时，差抽块（109）被密封隔断，以实现真空隔离。

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