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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及一种基于横向编码的线差动共焦位移传感器系统，属于传感器技术领域。解决现有技术中差动共焦显微镜技术测量效率低的技术问题。本发明的基于横向编码的线差动共焦位移传感器系统，在保证差动共焦显微镜测量精度的同时，将其从点式测量转换为线扫描模式测量，利用闪耀光栅实现光谱横向编码，使得不同波长的光得以分解，按照期望顺序通过消色差透镜，对被测元件进行测量，通过对不同波长的光强信号进行分析，能够同时得到样品高度横向上的所有信息。本发明的线差动共焦位移传感器系统，在一次扫描中能够获取更多的信息，从而减少整体测量维度，减少测量维度的方法简化了数据采集过程，提高了系统的操作效率。
主权项：1.一种基于横向编码的线差动共焦位移传感器系统，其特征在于，在光路方向上依次包括：光源（1）、第一准直透镜（2）、第一分束镜（3）、第一闪耀光栅（4）、远心光圈（5）、第一消色差透镜（6）和压电陶瓷驱动器（8）；其中，所述第一分束镜（3）还依次连接有：第二分束镜（9）、第一聚焦透镜（10）、第一针孔（11）和第一成像光谱仪（12）；所述第二分束镜（9）还依次连接有：第二聚焦透镜（13）、第二针孔（14）和第二成像光谱仪（15）；所述第一针孔（11）和第二针孔（14）的位置在第一聚焦透镜（10）和第二聚焦透镜（13）焦距前后方向上呈现对称；所述光源（1）输出的光束通过第一准直透镜（2）形成准直光束，该准直光束通过所述第一分束镜（3）、第一闪耀光栅（4）后实现不同波长光束的分离，获得光谱横向编码照明光束；所述光谱横向编码照明光束经过远心光圈（5）消除放大倍率变化使其进入所述第一消色差透镜（6）时平行于光轴，光束经过所述第一消色差透镜（6）聚焦后以线的方式成像到放置在所述压电陶瓷驱动器（8）上的被测元件（7）表面上，经反射后的返还光束经过第一分束镜（3）、第二分束镜（9）分束后，分别进入相同焦距的第一聚焦透镜（10）和第二聚焦透镜（13），聚焦后的光束分别通过第一针孔（11）和第二针孔（14）后，获得的光谱信息数据分别被第一成像光谱仪（12）和第二成像光谱仪（15）接收。
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权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 基于横向编码的线差动共焦位移传感器系统
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