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申请/专利权人：松诺盟科技有限公司

摘要：本发明公开了一种纳米薄膜高温绝压压力传感器，包括传感器组件和桥臂，所述桥臂可拆卸的安装在所述传感器组件内，所述桥臂的表面设置有多层由纳米尺度的颗粒或结构组成的膜层，多层所述膜层从里到外依次为过渡层、绝缘层、应变层、焊盘层和保护层。本申请中压力测量采用纳米镀膜技术，将测量电路直接原子级生成在桥臂上，实现精确测量，并通过优化膜层材料，实现耐高温测量，满足400℃及以下环境的使用要求。

主权项：1.一种纳米薄膜高温绝压压力传感器，包括传感器组件和桥臂（4），所述桥臂（4）可拆卸的安装在所述传感器组件内，其特征在于，所述桥臂（4）的表面设置有多层由纳米尺度的颗粒或结构组成的膜层（5），多层所述膜层（5）从里到外依次为过渡层（13）、绝缘层（14）、应变层（15）、焊盘层（16）和保护层（17）；所述过渡层（13）采用氮化钽材料，用于匹配镍基合金InconelX-750与所述绝缘层（14）的热失配系数，所述过渡层（13）厚度为50-200nm；所述绝缘层（14）采用高介电常数材料，所述绝缘层（14）厚度为0.5-6um；所述应变层（15）采用优化Ni-Cr材料：NiCrAlMnSiTa，质量分数为Ni69%、Cr16%、Al3%、Mn7%、Si0.8%和Ta4.2%，所述应变层（15）的膜层厚度为50-300nm；所述焊盘层（16）采用金材料，所述焊盘层（16）的膜层厚度为0.5-5um；所述保护层（17）采用高介电常数材料，所述保护层（17）的膜层厚度为0.5-50um；所述传感器组件包括有外壳（9）、真空腔体（6）和封压盖（7），所述封压盖（7）可拆卸的安装在所述真空腔体（6）顶部的开口处，所述真空腔体（6）设置在所述外壳（9）内，所述真空腔体（6）与所述封压盖（7）内壁镀有真空吸附剂；所述传感器组件还包括有弹膜腔体（3）和引压嘴（2），所述弹膜腔体（3）设置在所述桥臂（4）底部，所述引压嘴（2）固定在所述外壳（9）底部，所述引压嘴（2）顶部与所述弹膜腔体（3）底部卡接，所述引压嘴（2）底部固定有VCR接头（1），所述VCR接头（1）通过引压嘴（2）与所述弹膜腔体（3）连通；所述引压嘴（2）和所述弹膜腔体（3）均为高温镍基合金InconelX-750材质，两者表面均采用电解抛光技术，两者的表面粗糙度均≤Ra0.15；所述弹膜腔体（3）顶部形成有弹性膜片（18），所述桥臂（4）底部向内凹陷对称形成有桥洞（19），所述桥臂（4）顶部位于所述桥洞（19）上方形成有应变梁（20）；桥臂（4）安装在弹膜腔（3）的弹性膜片（18）上，用于将弹性膜片（18）的微小变形在桥洞（19）位置通过应变梁（20）变形放大，从而提高灵敏度；采用玻璃烧结及真空电子焊技术，将测量电路封装在真空腔内，并在真空腔内涂覆真空吸附剂。

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