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申请/专利权人：成都联江科技有限公司
摘要：本实用新型提出一种紫外光刻镜头和光刻机，紫外光刻镜头包括由物侧到像侧依次布置的光焦度为正的第一透镜、光焦度为正的第二透镜、光焦度为负的第三透镜、光焦度为负的第四透镜、光焦度为正的第五透镜、光焦度为正的第六透镜、光焦度为正的第七透镜、光焦度为负的第八透镜、光焦度为正的第九透镜、光焦度为正的第十透镜、光焦度为正的第十一透镜、光焦度为负的第十二透镜、光焦度为正的第十三透镜、光焦度为正的第十四透镜、光焦度为正的第十五透镜和光焦度为正的第十六透镜，以使得紫外光刻镜头的分辨率达到350nm，上述所有透镜均为玻璃球面透镜。通过合理设置十六枚透镜的光焦度以及形状配合关系，以提供一种低成本、高分辨率的紫外光刻镜头。
主权项：1.一种紫外光刻镜头，其特征在于，所述紫外光刻镜头具有沿光轴方向呈相对设置的物侧和像侧，所述紫外光刻镜头包括由物侧到像侧依次布置的光焦度为正的第一透镜、光焦度为正的第二透镜、光焦度为负的第三透镜、光焦度为负的第四透镜、光焦度为正的第五透镜、光焦度为正的第六透镜、光焦度为正的第七透镜、光焦度为负的第八透镜、光焦度为正的第九透镜、光焦度为正的第十透镜、光焦度为正的第十一透镜、光焦度为负的第十二透镜、光焦度为正的第十三透镜、光焦度为正的第十四透镜、光焦度为正的第十五透镜和光焦度为正的第十六透镜，以使得所述紫外光刻镜头的分辨率达到350nm；其中，上述所有透镜均为玻璃球面透镜。
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