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申请/专利权人:宋永真
摘要:本发明提供一种滤光器及包括该滤光器的传感器系统,该滤光器具有高折射率的同时在约800nm~1100nm的窄带示出消光系数低的特性。
主权项:1.一种滤光器,其特征在于,包括:第一镜层,其由第一高折射物质层和第一低折射物质层交替层压而成;间隔层,其连续层压在所述第一镜层的一侧上面且包括多个第二高折射物质层;及第二镜层,其将所述间隔层置于中间并与所述第一镜层相对设置,且第三高折射物质层和第三低折射物质层交替层压而成,所述第一高折射物质层、所述第一低折射物质层、所述第二高折射物质层、所述第三高折射物质层及所述第三低折射物质层中有一个以上包含卤化非晶硅,在800nm至1100nm的波长范围内所述第一高折射物质层、所述第二高折射物质层及所述第三高折射物质层中有一个以上的折射率在3.0以上,并且具有0.001以下的消光系数。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 宋永真 滤光器及包括其的传感器系统、以及滤光器用卤化非晶硅薄膜的制备方法
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