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申请/专利权人：西安应用光学研究所
摘要：本发明属于光学测量技术领域，公开了一种扫描式双层二次衍射线阵光谱仪波长标定方法，高精度光谱仪主要是硬件上选择高线对数光栅、采用单次或者多次色散、长焦距汇聚镜、扫描摄谱等技术实现高准确度波长测量，该类光谱仪具备高光谱分辨率、高波长准确度等技术特点，标定方法首先对线阵探测器中心像元的波长标定，然后对线阵探测器非中心像元的波长标定。本发明可解决此类光谱仪波长的准确标定，尤其可实现紫外到近红外波段波长准确度±0.05nm的二次衍射的线阵光谱仪波长标定。
主权项：1.一种扫描式双层二次衍射线阵光谱仪波长标定方法，所述线阵光谱仪包括双层光栅、直线光栅尺、准直镜、汇聚镜、扫描电机、光栅扫描机构、线阵探测器；所述双层光栅包括4块光栅，其中每2块光栅具有相同的线对数，具有不同线对数的光栅背靠背平行放置，为一组，形成两组光栅，两组光栅上下放置在一个平面内；色散分光时，上下两块相同线对数的光栅为一组色散单元，每组色散单元安装在同一个扫描旋转轴上；直线光栅尺安装在直线导轨上，读数头安装在正弦杆上，反馈光栅旋转位置及监测光栅扫描定位是否精准；准直镜、汇聚镜用于将入射光准直为平行光及将出射光汇聚到线阵探测器光敏面上；扫描电机用于带动光栅扫描机构扫描；线阵探测器用于光谱探测；其特征在于，标定方法包括以下步骤：第一步：线阵探测器中心像元的波长标定；第二步：线阵探测器非中心像元的波长标定。
全文数据：
权利要求：
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