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全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置及方法 

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申请/专利权人:中国工程物理研究院激光聚变研究中心

摘要:本发明涉及全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置及方法,装置包括:固定部可拆卸于全口径抛光机床的横梁上;竖直驱动部连接于固定部上,且远离全口径抛光机床横梁的一侧,滑动部沿竖直方向上可滑动连接于竖直驱动部上;精密力传感器固定于滑动部上,且位于远离竖直驱动部一侧;滑动部与推力驱动部上部铰接位置为A点,精密力传感器与推力驱动部下部接触位置为B点;推力驱动部输出端连接推杆用于改变推杆的行程;推杆底部与工作板连接,且工作板底面与环抛机抛光盘抵接位置为C点;根据精密力传感器检测的横向摩擦力F,测量A点和B点的距离为X,及A点和C点之间的距离为Y,以A点为旋转轴满足力矩平衡方程:Fx‑Gy=0,其中G为横向摩擦力。

主权项:1.全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置,其特征在于,包括:固定部(100),所述固定部(100)可拆卸于全口径抛光机床的横梁(H)上;竖直驱动部(200),所述竖直驱动部(200)连接于所述固定部(100)上,且远离所述全口径抛光机床的横梁(H)的一侧;所述竖直驱动部(200)至少包括轨道(201)和丝杠(202);滑动部(300),所述滑动部(300)沿竖直方向上可滑动连接于所述竖直驱动部(200)上;精密力传感器(400),所述精密力传感器(400)固定于所述滑动部(300)上,且位于远离所述竖直驱动部(200)的一侧;推力驱动部(500),所述滑动部(300)与所述推力驱动部(500)上部铰接位置为A点,所述精密力传感器(400)与所述推力驱动部(500)下部接触位置为B点;推杆(600),所述推力驱动部(500)输出端连接所述推杆(600)用于改变所述推杆(600)的行程;工作板(700),所述推杆(600)底部与所述工作板(700)连接,且所述工作板(700)底面与全口径抛光机床抛光盘抵接位置为C点;根据所述精密力传感器(400)检测的横向摩擦力F,测量A点和B点的距离为X,及A点和C点之间的距离为Y,以A点为旋转轴满足力矩平衡方程:;其中G为横向摩擦力;所述滑动部(300)包括滑板(301)及滑块(302);所述滑板(301)一面设置有与所述丝杠(202)配合的丝杠螺母,另一面上部与所述推力驱动部(500)铰接,下部固定所述精密力传感器(400);所述滑块(302)与所述滑板(301)一面连接,包括多个对应设置于所述丝杠螺母两侧,且与所述轨道(201)可滑动连接;所述推力驱动部(500)包括旋转连接板(501)及气缸组件(502);所述旋转连接板(501)一面上部与所述滑板(301)铰接,下部设置有与所述精密力传感器(400)对置对应的作用头(5011);所述气缸组件(502)固定于所述旋转连接板(501)另一面上,所述气缸组件(502)通过气管与外部气源连通;所述气管上设置有精密调压装置(503);所述外部气源的供气压力大于0.4MPa。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置及方法

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