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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：描述了一种用于减少转换状态后与高频HF射频RF产生器相关的反射功率的方法。该方法包含控制该HFRF产生器以将HFRF信号的状态划分成多个子状态。该多个子状态包括第一子状态和第二子状态。该方法还包含控制该HFRF产生器以在该第一子状态期间施加第一参考高频率值和在该第二子状态期间施加第二参考高频率值。该方法包含在该第一子状态期间施加偏离该第一参考高频率值的第一组HF偏移值以及在该第二子状态期间施加偏离该第二参考高频率值的第二组HF偏移值。
主权项：1.一种用于减少转换状态后与高频HF射频RF产生器相关的反射功率所述的方法，其包含：控制所述HFRF产生器以将HFRF信号的状态划分成多个子状态，其中所述多个子状态包括第一子状态和第二子状态；控制所述HFRF产生器以在所述第一子状态期间施加第一参考高频率值和在所述第二子状态期间施加第二参考高频率值；在所述第一子状态期间施加偏离所述第一参考高频率值的第一组HF偏移值；以及在所述第二子状态期间施加偏离所述第二参考高频率值的第二组HF偏移值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于减少状态转换后的反射功率的系统和方法
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