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申请/专利权人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
摘要：本发明涉及一种具有定盘形状测定及清洁功能的研磨机及其控制方法，所属硅片加工设备技术领域，包括研磨机机架，所述的研磨机机架上设有研磨定盘，所述的研磨定盘一侧设有固定柱，所述的研磨定盘中心上端与固定柱间设有水平支架杆，所述的水平支架杆上设有沿着水平支架杆往复位移的传感器，所述的传感器与水平支架杆间设有驱动器，所述的传感器侧边设有与驱动器相连接固定的除残清洁组件。具有结构简单、操作便捷和运行稳定性好的优点。解决了研磨定盘残留物或是污染物会妨碍表面检测的问题。采用自动非接触式检测结构，通过测量和管理研磨定盘的平坦度、翘曲及变形量，改善和解决现有方案的问题或不足。
主权项：1.一种具有定盘形状测定及清洁功能的研磨机，包括研磨机机架（1），所述的研磨机机架（1）上设有研磨定盘（4），其特征在于：所述的研磨定盘（4）一侧设有固定柱（8），所述的研磨定盘（4）中心上端与固定柱（8）间设有水平支架杆（2），所述的水平支架杆（2）上设有沿着水平支架杆（2）往复位移的传感器（9），所述的传感器（9）与水平支架杆（2）间设有驱动器（3），所述的传感器（9）侧边设有与驱动器（3）相连接固定的除残清洁组件（10）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 具有定盘形状测定及清洁功能的研磨机及其控制方法
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