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申请/专利权人：格科微电子(上海)有限公司
摘要：本发明公开了一种像素单元，包括：半导体衬底，其具有第一侧以及与该第一侧相对的第二侧；光电二极管，设置在所述半导体衬底中且接近所述半导体衬底的第一侧，该光电二极管响应穿过所述半导体衬底的第二侧到达该光电二极管的入射光并产生图像电荷；倒金字塔沟槽结构和单元深沟槽隔离结构，所述倒金字塔沟槽结构和单元深沟槽隔离结构沿着所述入射光到所述光电二极管的光学路径设置在所述半导体衬底中，且接近所述半导体衬底的第二侧；其中，所述单元深沟槽隔离结构围绕所述倒金字塔沟槽结构设置，减少了像素单元之间的光串扰，提高了整个像素单元的量子效率。
主权项：1.一种像素单元，其特征在于，包括：半导体衬底，其具有第一侧以及与该第一侧相对的第二侧；光电二极管，设置在所述半导体衬底中且接近所述半导体衬底的第一侧，该光电二极管响应穿过所述半导体衬底的第二侧到达该光电二极管的入射光并产生图像电荷；倒金字塔沟槽结构和单元深沟槽隔离结构，所述倒金字塔沟槽结构和单元深沟槽隔离结构沿着所述入射光到所述光电二极管的光学路径设置在所述半导体衬底中，且接近所述半导体衬底的第二侧；其中，所述单元深沟槽隔离结构围绕所述倒金字塔沟槽结构设置。
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权利要求：
百度查询： 格科微电子(上海)有限公司 像素单元及成像系统
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