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申请/专利权人：福建天甫电子材料有限公司

摘要：本发明公开了一种电子级氢氟酸灌装设备，包括：滚筒输送机，所述滚筒输送机的上部固定设置有升降气缸；灌装隔离机构，包含固接到所述升降气缸的活塞杆端的隔离罩，隔离罩的一侧固接有充装管，隔离罩的另一侧固接有排气管；装料机构，包含装料桶，所述装料桶的顶部朝上设置有相应的进料管，所述进料管的中部两侧分别倾斜安装有导向管，所述导向管内分别可移动插接有相应的进料导料管和排气导管，所述进料管上安装有管盖，所述隔离罩的顶部朝下设置有主动驱动机构，所述管盖的顶部朝下设置有从动驱动机构。本发明能够有效切实对电子级氢氟酸形成隔离充装，以在防止外界气体混合进入装料桶内的前提下，有效明显提升电子级氢氟酸的灌装便捷性。

主权项：1.一种电子级氢氟酸灌装设备，其特征在于，包括：滚筒输送机（1），所述滚筒输送机（1）的上部固定设置有一相应的升降气缸（2）；灌装隔离机构（3），包含固接到所述升降气缸（2）的活塞杆端的隔离罩（301），所述隔离罩（301）的开口朝下设置，隔离罩（301）的一侧固接有充装管（302），所述充装管（302）的进液端连接到外界物料源，充装管（302）的出料端向下倾斜设置并固定安装有相应的流量阀（4），隔离罩（301）的另一侧固接有排气管（303），所述排气管（303）的进气端向下倾斜设置；装料机构（5），包含通过所述滚筒输送机（1）进行输送的装料桶（501），所述装料桶（501）的顶部朝上设置有进料管（502），所述进料管（502）的中部两侧分别倾斜安装有与所述充装管（302）和排气管（303）相对应的导向管（503），所述导向管（503）内分别可移动插接有相应的进料导料管（504）和排气导管（505），所述进料管（502）上可升降封闭安装有一相应的管盖（6），所述隔离罩（301）的顶部朝下设置有一用于对所述管盖（6）进行升降驱动的主动驱动机构（7），所述管盖（6）的顶部朝下设置有一用于对所述进料导料管（504）和排气导管（505）进行伸缩驱动的从动驱动机构（8）；所述升降气缸（2）的活塞杆伸出，以驱动所述隔离罩（301）封闭于所述装料桶（501）的顶面，所述主动驱动机构（7）驱动所述管盖（6）上行，所述从动驱动机构（8）驱动所述进料导料管（504）和排气导管（505）分别向外伸出以对应套接到所述充装管（302）和排气管（303）上；所述流量阀（4）开启，物料经所述充装管（302）、进料导料管（504）进入所述装料桶（501）内，所述装料桶（501）内的气体经所述排气导管（505）和排气管（303）进行排出处理；完成装料后，所述升降气缸（2）的活塞杆回缩，所述主动驱动机构（7）驱动所述管盖（6）复位，所述从动驱动机构（8）驱动所述进料导料管（504）和排气导管（505）分别复位。

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