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基于双层Janus薄膜的柔性压阻式压力传感器及其制备方法 

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申请/专利权人:西安交通大学

摘要:本发明公开了一种基于双层Janus薄膜的柔性压阻式压力传感器及其制备方法,包括依次叠加设置的插指电极、阻隔层、第一Janus导电层、间隔层和第二Janus导电层,阻隔层、第一Janus导电层、间隔层和第二Janus导电层表面均设置有锥结构,通过设置锥结构可以极大的提高传感器的灵敏度,双层导电层结构在较小力作用下,下层的第一Janus导电层与插指电极先接触,随着压力的不断增加下,第一Janus导电层和第二Janus导电层开始接触,第二Janus导电层也开始导通,整个压力敏感层的电阻从单一的导电层与插指电极的接触电阻变为双层导电层之间以及下层导电层与插指电极的并联,从而增加了量程范围。

主权项:1.基于双层Janus薄膜的柔性压阻式压力传感器,其特征在于,包括依次叠加设置的插指电极1、阻隔层2、第一Janus导电层3、间隔层4和第二Janus导电层5,阻隔层2、第一Janus导电层3、间隔层4和第二Janus导电层5表面均设置有锥结构。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 西安交通大学 基于双层Janus薄膜的柔性压阻式压力传感器及其制备方法

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