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申请/专利权人：广东鸿浩半导体设备有限公司
摘要：本实用新型涉及一种具有粉尘收集功能的罗茨泵转子及罗茨泵，所述罗茨泵转子包括转子本体和转轴；其中，所述转子本体具有相对的前端面和后端面，所述转轴垂直设置于所述转子本体的后端面上；所述转子本体上开设有贯通前端面和后端面的贯通孔，所述贯通孔的侧壁上开设有多个粉尘导流槽，所述粉尘导流槽贯通所述转子本体的前端面和后端面，多个所述粉尘导流槽沿所述贯通孔的周向均匀分布。本实用新型提供的罗茨泵转子及罗茨泵，转子本体上的粉尘导流槽可将粉尘从转子本体的前端引导流动至后端，进而汇集到罗茨泵的泵腔一侧的粉尘收集盒中，从而实现对粉尘的收集，避免大量的粉尘粘接在罗茨泵转子表面造成转子卡死，降低罗茨泵的故障发生率。
主权项：1.一种具有粉尘收集功能的罗茨泵转子，其特征在于，包括转子本体和转轴；其中，所述转子本体具有相对的前端面和后端面，所述转轴垂直设置于所述转子本体的后端面上；所述转子本体上开设有贯通前端面和后端面的贯通孔，所述贯通孔的侧壁上开设有多个粉尘导流槽，所述粉尘导流槽贯通所述转子本体的前端面和后端面，多个所述粉尘导流槽沿所述贯通孔的周向均匀分布。
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权利要求：
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