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申请/专利权人：烟台大学
摘要：一种TiVCrZrWSi纳米复合涂层的制备方法，涉及一种TiVCrZrW基纳米复合涂层的制备方法。本发明的目的是通过磁控溅射生成自润滑的高熵陶瓷薄膜，进而改善TiVCrZrW基纳米涂层的摩擦学性能及耐腐蚀性能。本发明提供了一种TiVCrZrW基纳米复合涂层薄膜，通过引入硬质元素Si元素，形成了具有高硬度、高韧性、低摩擦和耐磨损的高熵陶瓷薄膜，并且实现了对TiVCrZrW基涂层微观结构的调控，提高了涂层的致密度，提高了所述涂层在模拟海水环境下的耐腐蚀性能，实现了TiVCrZrWSi纳米复合涂层的可控生长。
主权项：1.一种TiVCrZrWSi纳米复合涂层的制备方法，其特征在于TiVCrZrWSi纳米复合涂层的制备方法是按以下步骤进行的：一、依次对衬底进行清洗和烘干；所述的衬底为钛基材料；二、将步骤一中清洗和烘干后的衬底放入磁控溅射装置的真空腔体中，将TiVCrZrW靶材和Si靶材分别安装在磁控溅射装置的靶位上，然后对腔体抽真空；三、向腔体中通入Ar气体作为溅射气体，调节腔体中的工作压强为0.8Pa～0.9Pa；TiVCrZrW靶采用直流电流，溅射电流为0.5A～0.6A；Si靶采用射频电流，Si的射频功率为20W～100W；两个靶材同时开始溅射，两个靶材的溅射厚度相等，均为0.9μm～1.1μm；所述的Ar的流速为100sccm～110sccm；四、溅射结束后，将腔体冷却至室温，得到TiVCrZrWSi涂层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 烟台大学 一种TiVCrZrW/Si纳米复合涂层的制备方法
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