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申请/专利权人：纳米电子成像有限公司
摘要：一种检查设备包括样本台、一个或更多个成像装置和灯组，所有这些都可由控制系统控制。通过平移或旋转一个或更多个成像装置或样本台，检查设备可以捕获样本的第一图像，然后捕获样本的第二图像，第一图像包括在参考点的第一侧的第一成像伪影，第二图像包括在参考点的第二侧的第二成像伪影。可以分别从第一图像和第二图像裁剪出第一成像伪影和第二成像伪影，并且可以将第一图像和第二图像数字地拼接在一起以生成缺少第一成像伪影和第二成像伪影的样本的合成图像。
主权项：1.一种检查设备，包括：样本台，所述样本台被配置为保持样本；一个或更多个成像装置，所述一个或更多个成像装置定位在所述样本台上方以从所述样本台捕获所述样本的一张或更多张图像；灯组，所述灯组设置在所述样本台和所述一个或更多个成像装置之间的平台上；以及控制系统，所述控制系统与所述样本台、所述一个或更多个成像装置和所述平台耦接，所述控制系统包括：一个或更多个处理器；以及存储器，所述存储器用于存储可执行指令，当所述可执行指令由所述一个或更多个处理器执行时，使得所述控制系统：识别位于所述样本上的参考点；将所述一个或更多个成像装置定位在与所述参考点的第一侧相对应的第一位置处；从所述一个或更多个成像装置接收所述样本的第一图像，所述第一图像包括位于所述参考点的第一侧上的第一成像伪影；将所述一个或更多个成像装置平移到与所述参考点的第二侧相对应的第二位置；从所述一个或更多个成像装置接收所述样本的第二图像，所述第二图像包括位于所述参考点的第二侧上的第二成像伪影；从所述第一图像中裁剪出所述第一成像伪影，并且从所述第二图像中裁剪出所述第二成像伪影；以及将所述第一图像和所述第二图像数字地拼接在一起以生成所述样本的合成图像，所述合成图像缺少所述第一成像伪影和所述第二成像伪影。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 纳米电子成像有限公司 用于反射样本的宏观检查的系统、方法和设备
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