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申请/专利权人：苏州矩阵光电有限公司
摘要：本发明提供一种用于晶圆分区腐蚀的隔离网筒及腐蚀方法，隔离网筒包括：筒壁，用于套设于晶圆外围，并与晶圆共同被真空吸附台吸附固定；隔离网壁，固定于筒壁内，用于将晶圆表面分隔成多个相互独立的腐蚀区域，当筒壁被真空吸附台固定时，隔离网壁延伸至晶圆表面上方，并与晶圆表面具有间距以形成非接触气隙，非接触气隙被配置为当腐蚀液进入某一个腐蚀区域时，基于液体表面张力使得腐蚀液不会进入到相邻的腐蚀区域。本发明可以有效实现晶圆表面腐蚀的分区精密控制，满足更精密的控制更严格的晶圆均匀性要求，且不会造成晶圆表面划伤和相邻区域腐蚀液混合而无法区分的情况。
主权项：1.一种用于晶圆分区腐蚀的隔离网筒，其特征在于，所述隔离网筒包括：筒壁，用于套设于晶圆外围，并与所述晶圆共同被真空吸附台吸附固定；隔离网壁，固定于所述筒壁内，用于将晶圆表面分隔成多个相互独立的腐蚀区域，当所述筒壁被真空吸附台固定时，所述隔离网壁延伸至晶圆表面上方，并与晶圆表面具有间距以形成非接触气隙，所述非接触气隙被配置为当腐蚀液进入某一个腐蚀区域时，基于液体表面张力使得腐蚀液不会进入到与该腐蚀区域相邻的另一个腐蚀区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州矩阵光电有限公司 用于晶圆分区腐蚀的隔离网筒及腐蚀方法
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