龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：鹏城微纳技术(沈阳)有限公司
摘要：本申请实施例提供一种分区温控束源炉及高真空蒸发镀膜装置，涉及热蒸发装置技术领域，以便于提高蒸发效率和蒸发产物的质量。该束源炉主要由壳体和加热丝组成，壳体，具有容纳腔，容纳腔分为相连通的第一部分和第二部分；壳体的两端为相对第一面和第二面；第一面设有开口；第一面上的开口用于放置材料和蒸发，第二面用于连接电极；第一加热丝，设于容纳腔内侧壁上，且位于第一部分所在位置；第二加热丝，设于容纳腔内侧壁上，且位于第二部分所在位置。本申请实施例提供的束源炉可用于精确控制被蒸发物处于不同状态时的蒸发温度。
主权项：1.一种分区温控束源炉，其特征在于，包括：壳体，具有容纳腔，所述容纳腔分为相连通的第一部分和第二部分；所述壳体的两端为相对第一面和第二面；所述第一面设有开口；所述第一面上的开口用于放置材料和蒸发，所述第二面用于连接电极；第一加热丝，设于所述容纳腔内侧壁上，且位于所述第一部分所在位置；第二加热丝，设于所述容纳腔内侧壁上，且位于所述第二部分所在位置；坩埚，上方具有加料口，所述坩埚设置于所述容纳腔内，且所述加料口的开口与所述壳体的第一面开口朝向一致；所述坩埚位于所述第一加热丝和所述第二加热丝的加热范围内；坩埚底座，置于所述坩埚下方，用于固定所述坩埚，所述坩埚底座与所述第二面相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 鹏城微纳技术(沈阳)有限公司 一种分区温控束源炉及高真空蒸发镀膜装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号