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一种基于视觉图像亚像素定位实现面形绝对检测中心对准方法及光学系统 

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申请/专利权人:中国工程物理研究院激光聚变研究中心

摘要:本发明提供的基于视觉图像亚像素定位实现面形绝对检测中心对准方法及光学系统,涉及光学技术领域。该方法包括获得干涉仪成像视场在零条纹下的检测视场图像;获得被检测光学元件相对标准参考镜旋转多个角度所对应的检测视场图像;根据检测视场图像获得亚像素图像边缘信息;根据亚像素图像边缘信息提取被检测光学元件的特征标识点;根据特征标识点计算旋转平台的旋转中心坐标;根据旋转中心坐标与被检元件当前位置几何中心坐标,调整被检测光学元件,以使被检测光学元件的中心与旋转平台的中心高精重合。本发明方法原理简单,无需增加其他的辅助装置,利用视觉图像实现中心定位校准,更加高精高效。

主权项:1.一种基于视觉图像亚像素定位实现面形绝对检测中心对准方法,用于对被检测光学元件对准,其特征在于,所述方法包括:获得干涉仪成像视场在零条纹下的初始检测视场图像,其中,光线通过准直扩束系统依次射入标准参考镜和被检测光学元件,光线在被所述标准参考镜和所述被检测光学元件反射后,在CCD图像采集系统中成像;获得所述被检测光学元件相对所述标准参考镜旋转多个角度,在零条纹下,所对应的多个旋转角度下的检测视场图像;根据所述初始检测视场图像及所述多个旋转角度下的检测视场图像,获得所述被检测光学元件的亚像素图像边缘信息;根据所述被检测光学元件的亚像素图像边缘信息,提取所述被检测光学元件的特征标识点;根据所述被检测光学元件的特征标识点,计算旋转平台的旋转中心坐标,其中,所述被检测光学元件与所述中心平移平台连接,所述中心平移平台与所述旋转平台连接,所述旋转平台用于使所述被检测光学元件相对所述标准参考镜旋转;所述多个旋转角度下的检测视场图像中包括所述被检测光学元件的当前位置几何中心坐标,根据所述旋转平台的旋转中心坐标与所述被检测光学元件的当前位置几何中心坐标,调整所述被检测光学元件,以使所述被检测光学元件的中心与所述旋转平台的中心高精重合。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种基于视觉图像亚像素定位实现面形绝对检测中心对准方法及光学系统

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