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申请/专利权人：3S韩国株式会社
摘要：本发明涉及一种基板收纳容器的顶部法兰的紧固结构。紧固结构包括：第一引导部，提供引导以使移送基板收纳容器的机械臂能够紧固于顶部法兰；第二引导部，提供引导以使顶部法兰能够对准容器主体的紧固位置；紧固突起，形成于第二引导部的一表面且突出形成在面向容器主体的表面；一个以上的螺栓紧固部，配备有能够使顶部法兰与容器主体之间进行紧固的空间；引导紧固槽，以使顶部法兰能够对准容器主体的紧固位置的方式进行引导；以及一个以上的螺栓紧固槽，形成有能够插入螺栓的槽。
主权项：1.一种基板收纳容器的顶部法兰的紧固结构，所述紧固结构包括配备有能够收纳基板的空间的容器主体以及紧固于所述容器主体的上部的顶部法兰，所述基板收纳容器的顶部法兰的紧固结构包括：第一引导部，形成于所述顶部法兰的内部中央，并且提供引导以使移送所述基板收纳容器的机械臂能够紧固于所述顶部法兰；第二引导部，形成于所述第一引导部的内部中央，并且提供引导以使所述顶部法兰能够对准至所述容器主体的紧固位置；紧固突起，形成于所述第二引导部的一表面，并且突出形成在面向所述容器主体的表面；一个以上的螺栓紧固部，形成于所述顶部法兰的内部并形成于所述第二引导部的附近，并且配备有能够使所述顶部法兰与所述容器主体之间进行紧固的空间；引导紧固槽，形成于所述容器主体的上部，形成为沿一方向突出，在突出的一端配备有能够供所述紧固突起插入的槽，并且以使所述顶部法兰能够对准所述容器主体的紧固位置的方式进行引导；以及一个以上的螺栓紧固槽，形成于所述引导紧固槽的附近，形成为沿一方向突出，在突出的一端配备有能够紧固螺栓的槽，并且形成在与所述螺栓紧固部相同的线上，并形成有能够插入所述螺栓的槽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 3S韩国株式会社 基板收纳容器的顶部法兰的紧固结构
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