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固体摄像元件及固体摄像元件的制造方法 

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申请/专利权人:浜松光子学株式会社

摘要:固体摄像元件具备半导体基板、第1元件部及第2元件部。第1元件部具有受光部与传送部,第2元件部具有电容部。传送部具有第1传送电极及第2传送电极、绝缘层。电容部具有彼此重叠的第1电容电极及第2电容电极、绝缘层。第1传送电极的一部分与第2传送电极的一部分重叠。绝缘层包含位于第1传送电极的一部分与第2传送电极的一部分之间的第1部分。绝缘层包含位于第1电容电极与第2电容电极之间的第2部分。第1部分的厚度大于第2部分的厚度。

主权项:1.一种固体摄像元件,其中,具备:半导体基板;第1元件部,其形成于所述半导体基板;及第2元件部,其形成于所述半导体基板,所述第1元件部具有:受光部,其根据光的入射而产生电荷;及传送部,其传送所述电荷,所述第2元件部具有:至少一个电容部,其构成为进行向所述第1元件部的信号的发送及来自所述第1元件部的信号的接收的至少一者,所述传送部具有:第1传送电极及第2传送电极,其排列于所述电荷的传送方向;及第1绝缘层,其将所述第1传送电极及所述第2传送电极彼此绝缘,所述至少一个电容部具有:第1电容电极及第2电容电极,其在自所述半导体基板的厚度方向观察的情况下彼此重叠;及第2绝缘层,其将所述第1电容电极及所述第2电容电极彼此绝缘,在自所述半导体基板的所述厚度方向观察的情况下,所述第1传送电极的一部分与所述第2传送电极的一部分重叠,所述第1绝缘层包含位于所述第1传送电极的所述一部分、与所述第2传送电极的所述一部分之间的第1部分,所述第2绝缘层包含位于所述第1电容电极与所述第2电容电极之间的第2部分,所述第1绝缘层的所述第1部分的厚度大于所述第2绝缘层的所述第2部分的厚度。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 浜松光子学株式会社 固体摄像元件及固体摄像元件的制造方法

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