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申请/专利权人：长飞先进半导体(武汉)有限公司
摘要：本发明公开了一种功率器件及其制备方法、功率模块、功率转换电路及车辆。功率器件包括：依次层叠设置的衬底和外延层；外延层远离衬底的表面包括栅极沟槽；栅极沟槽内设置有第一栅氧化层、多晶硅层和第二栅氧化层；第一栅氧化层包括第一子部和第二子部，第一子部覆盖栅极沟槽的侧壁，第二子部覆盖栅极沟槽的底面；第二栅氧化层设置于第二子部远离述衬底的表面；多晶硅层设置于第一栅氧化层和第二栅氧化层远离所述外延层的一侧，多晶硅层覆盖所述第二栅氧化层，且多晶硅层覆盖所述第一子部的第一表面，第一子部的第一表面为第一子部远离所述栅极沟槽的侧壁的表面。本发明可以避免栅极沟槽底部的栅氧化层被击穿，提高功率器件的可靠性。
主权项：1.一种功率器件，其特征在于，包括：依次层叠设置的衬底和外延层；所述外延层远离所述衬底的表面包括栅极沟槽；所述栅极沟槽内设置有第一栅氧化层、多晶硅层和第二栅氧化层；所述第一栅氧化层包括第一子部和第二子部，所述第一子部覆盖所述栅极沟槽的侧壁，所述第二子部覆盖所述栅极沟槽的底面；所述第二栅氧化层设置于所述第二子部远离所述衬底的表面；所述多晶硅层设置于所述第一栅氧化层和所述第二栅氧化层远离所述外延层的一侧，所述多晶硅层覆盖所述第二栅氧化层，且所述多晶硅层覆盖所述第一子部的第一表面，所述第一子部的第一表面为所述第一子部远离所述栅极沟槽的侧壁的表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长飞先进半导体(武汉)有限公司 功率器件及其制备方法、功率模块、功率转换电路及车辆
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