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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于靶材制备技术领域，公开了一种黄色氧化钨钛靶材的烧结方法及黄色氧化钨钛靶材，该黄色氧化钨钛靶材的烧结方法，包括如下步骤：步骤1：将氧化钨钛靶坯以0.5‑1℃min的升温速率升温至800℃，过程中持续通氧，氧气流量为15‑20Lmin；步骤2：以2‑3℃min的升温速率由800℃升温至1150℃‑1200℃，保温1‑3h，过程中持续通氧，氧气流量为40‑60Lmin。本发明公开了一种黄色氧化钨钛靶材的烧结方法，采用两段升温的方式，在第一段升温阶段通过较低的升温速率和较低氧气流量来提高靶材的致密度；在第二升温阶段，采取较高的升温速率和较高的氧气流量来避免三氧化钨失活导致钨的价位发生变化。
主权项：1.一种黄色氧化钨钛靶材的烧结方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将氧化钨钛靶坯以0.5-1℃min的升温速率升温至800℃，过程中持续通氧，氧气流量为15-20Lmin；步骤2：以2-3℃min的升温速率由800℃升温至1150℃-1200℃，保温1-3h，过程中持续通氧，氧气流量为40-60Lmin。
全文数据：
权利要求：
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