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一种陶瓷靶材加工用烧结装置 

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申请/专利权人:福州市诺兴光电材料有限公司

摘要:本发明提供一种陶瓷靶材加工用烧结装置,涉及烧结技术领域,包括炉体,所述炉体的内部设置有烧结机构,所述烧结机构包括曲形轨道,所述曲形轨道的外表面活动连接有滚轮,所述滚轮的外表面固定连接有定位管,所述定位管的下表面连通设置有连接管,所述定位管的外表面通过轴承转动连接有移动架,所述移动架的外表面通过轴承转动连接有转动管,所述转动管的外表面固定连接有第一齿轮,所述曲形轨道的外表面设置有曲形齿条,本发明通过设置烧结机构,通过循环的气流可以带动底部的热气流进行移动,通过循环气流加热,可以更为均衡地分布热源,使得炉内的热量可以快速地平衡,提高加热效率,使得靶材能够更快速地达到设定温度。

主权项:1.一种陶瓷靶材加工用烧结装置,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)的内部设置有烧结机构(2),所述烧结机构(2)包括曲形轨道(201),所述曲形轨道(201)的外表面活动连接有滚轮(202),所述滚轮(202)的外表面固定连接有定位管(203),所述定位管(203)的下表面连通设置有连接管(204),所述定位管(203)的外表面通过轴承转动连接有移动架(205),所述移动架(205)的外表面通过轴承转动连接有转动管(206),所述转动管(206)的外表面固定连接有第一齿轮(207),所述曲形轨道(201)的外表面设置有曲形齿条(208),所述第一齿轮(207)与曲形齿条(208)啮合连接,所述转动管(206)的外表面固定连接有外支撑架(209)。

全文数据:

权利要求:

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