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申请/专利权人:新毅东(上海)科技有限公司
摘要:提供了一种光刻机系统的镜头地图复用方法。该光刻机系统的镜头地图复用方法,包括:创建镜头地图基类,所述镜头地图基类包含基于硅片信息和镜头基础信息的场景公共的属性和功能;确定具体应用场景;以及,基于所述具体应用场景通过继承镜头地图基类来实例化镜头地图应用类。这样,通过创建镜头地图基类并基于不同场景继承镜头地图基类来实例化镜头地图应用类,实现了镜头地图在不同场景下的复用性和灵活性。
主权项:1.一种光刻机系统的镜头地图复用方法,包括:创建镜头地图基类,所述镜头地图基类包含基于硅片信息和镜头基础信息的场景公共的属性和功能;确定具体应用场景;以及基于所述具体应用场景通过继承镜头地图基类来实例化镜头地图应用类。
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