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用于研磨机磨盘的测量组件 

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申请/专利权人:甘肃旭晶新材料有限公司;北京中企祥科技有限公司

摘要:本公开涉及一种用于研磨机磨盘的测量组件。该测量组件包括测量装置和具有检测滑道的支撑装置。支撑装置用于置于磨盘的待测量面上并使得检测滑道平行于待测量面设置,测量装置可移动地连接于检测滑道并指向待测量面,以用于测量待测量面的平整度。本公开提供的测量组件中,测量装置能够相对于支撑装置进行移动,在移动过程中,测量装置能够连续采集多组平整度数据,提高了整个平整度测量结果的测量准确性和代表性。进一步地,测量装置能够相对于支撑装置自由移动的方式,避免了相关技术中需要频繁拆装测量组件的问题,进而有效提高了测量的效率。另外,也避免了频繁拆装测量组件带来的人工误差,也提高了测量精度。

主权项:1.一种用于研磨机磨盘的测量组件,其特征在于,包括测量装置和具有检测滑道的支撑装置,所述支撑装置用于置于磨盘的待测量面上并使得所述检测滑道平行于所述待测量面设置,所述测量装置可移动地连接于所述检测滑道并指向所述待测量面,以用于测量所述待测量面的平整度;所述支撑装置包括安装架,所述安装架包括呈设定角度交叉连接的第一安装架和第二安装架,所述检测滑道包括位于所述第一安装架上的第一滑道和位于所述第二安装架的第二滑道,所述第一滑道和所述第二滑道在所述第一安装架和所述第二安装架的连接点相交且相互连通,以使得所述测量装置能够在所述连接点处切换于所述第一滑道和所述第二滑道之间。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 甘肃旭晶新材料有限公司 北京中企祥科技有限公司 用于研磨机磨盘的测量组件

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