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一种手动超洁净波纹管阀 

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申请/专利权人:海科智创(天津)科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种手动超洁净波纹管阀,包括Y型阀体、阀杆、波纹管组件、后盖和手动执行器,波纹管组件包括底座、波纹管和连接法兰,底座与阀杆下端固定连接,波纹管套设在阀杆外周,其上下端分别与连接法兰和底座焊接,套设波纹管组件的阀杆伸入Y型阀体的阀腔内部,后盖与Y型阀体上端固定连接,阀杆螺纹段与后盖的中心螺纹孔配合,阀杆上端伸出后盖后与手柄固定连接,Y型阀体内部表面粗糙度达到0.13μm以下。本实用新型通过降低阀体内部表面粗糙度,提升其光洁度,尽可能的减少气体吸附性和金属离子混入处理气体中,满足大流量超纯气体洁净度要求。还通过圆柱型波纹管结构增加了波纹管接触面积,提升波纹管承受力,延长了波纹管使用寿命。

主权项:1.一种手动超洁净波纹管阀,包括Y型阀体、阀杆、波纹管组件、后盖和手动执行器,其特征在于,所述波纹管组件包括底座、波纹管和连接法兰,所述底座与所述阀杆下端固定连接,所述波纹管套设在所述阀杆外周,其上下端分别与所述连接法兰和底座焊接,套设所述波纹管组件的所述阀杆伸入所述Y型阀体的阀腔内部,所述后盖与所述Y型阀体的上端固定连接,所述后盖上设有中心螺纹孔,所述阀杆的螺纹段与所述后盖的中心螺纹孔配合,所述阀杆上端伸出所述后盖后与所述手动执行器的手柄固定连接,所述阀杆在所述手柄作用下实现所述底座底端与所述Y型阀体内部的阀座R弧顶端的闭合与开启,所述Y型阀体的内部表面粗糙度达到0.13μm以下。

全文数据:

权利要求:

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