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一种OLED蒸镀机修正板定位机构 

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申请/专利权人:安徽微迈思科技有限公司

摘要:本实用新型涉及蒸镀机技术领域,尤其为一种OLED蒸镀机修正板定位机构,包括蒸镀腔,所述蒸镀腔内上部两侧壁安装有安装板,所述两个安装板之间贯穿安装有丝杆与限位杆,所述限位杆安装在丝杆上方,所述丝杆一端与驱动电机输出端相连,所述驱动电机设置在蒸镀腔外部,调节机构套装在丝杆上,用于移动修正板到适当的位置,伸缩机构固定套接在调节机构一侧,用于调节修正板的角度和位置,修正板安装在伸缩机构末端,用于修正膜厚分布;该OLED蒸镀机修正板定位机构,通过设置调节机构,可对修正板进行位移,修正板设置为可伸缩型,可以调节蒸镀源的蒸发物分布,使蒸发物在镀膜基板上均匀散开,从而使镀膜基板上的薄膜厚度一致。

主权项:1.一种OLED蒸镀机修正板定位机构,其特征在于,包括:蒸镀腔1,所述蒸镀腔1内上部两侧壁安装有安装板2,所述安装板2之间贯穿安装有丝杆3与限位杆4,所述限位杆4安装在丝杆3上方,所述丝杆3一端与驱动电机5输出端相连,所述驱动电机5设置在蒸镀腔1外部;调节机构6,所述调节机构6套装在丝杆3上,用于移动修正板8到适当的位置;伸缩机构7,所述伸缩机构7固定套接在调节机构6一侧,用于调节修正板8的角度和位置;修正板8,所述修正板8安装在伸缩机构7末端,用于修正膜厚分布。

全文数据:

权利要求:

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