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申请/专利权人：湖北江城芯片中试服务有限公司
摘要：本申请实施例提供一种晶圆检测装置、机械手臂及半导体设备，该晶圆检测装置用于检测机械手臂本体上承载的晶圆的位姿，机械手臂本体包括连接部以及两个支撑臂；晶圆检测装置包括：多个光栅传感器，分别设置于所述连接部以及所述两个支撑臂上；光栅传感器包括发射单元、接收单元和光栅；光栅沿朝向所述晶圆圆心的方向延伸；发射单元透过光栅发射平行光束；接收单元接收晶圆的反射光线；处理器，用于根据反射光线，确定晶圆的边缘位置信息，并根据位置信息，确定晶圆的圆心位置；控制器，用于在处理器确定的晶圆圆心位置与晶圆的基准圆心位置的偏移量超过预设距离时，控制机械手臂停止传送晶圆。
主权项：1.一种晶圆检测装置，用于检测机械手臂本体上承载的晶圆的位姿，所述机械手臂本体包括连接部以及连接至所述连接部的两个支撑臂，其特征在于，所述晶圆检测装置包括：多个光栅传感器，分别设置于所述连接部以及所述两个支撑臂上；所述光栅传感器包括发射单元、接收单元和光栅；所述光栅沿朝向所述晶圆圆心的方向延伸，且每一所述光栅传感器的光栅部分被所述晶圆遮挡；所述发射单元透过所述光栅发射平行光束；所述接收单元接收所述晶圆的反射光线；处理器，与所述光栅传感器连接，用于根据所述反射光线，确定所述晶圆的边缘位置信息，并根据所述位置信息，确定所述晶圆的圆心位置；控制器，与所述处理器和所述机械手臂本体连接，用于在所述处理器确定的所述晶圆圆心位置与所述晶圆的基准圆心位置的偏移量超过预设距离时，控制机械手臂停止传送所述晶圆。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北江城芯片中试服务有限公司 晶圆检测装置、机械手臂及半导体设备
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