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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：一种沉积工具包括：处理室；沉积基座，其用于支撑该处理室内的衬底，并且用于在该衬底的第一表面上沉积材料层；以及喷头组件，其具有相对于该衬底的第二表面的面板，该喷头的该面板具有多个可调式气体出口，其布置成当该材料层通过沉积基座正沉积于该衬底的第一表面上时分配清扫气体于该衬底的第二表面附近。
主权项：1.一种沉积工具，其包括：处理室；沉积基座，其用于支撑所述处理室内的衬底，并且被配置成当操作期间所述衬底被所述沉积基座支撑时，将沉积气体供应至所述衬底的背侧以在所述衬底的第一表面上沉积材料膜；喷头组件，其具有在所述衬底被所述沉积基座支撑时在所述衬底的第二表面上方的面板，所述喷头组件的所述面板具有多个可调式气体出口，所述可调式气体出口能调整为：当所述衬底被所述沉积基座支撑时并且所述材料膜在所述衬底的所述第一表面上的背侧沉积期间在所述衬底的所述第二表面附近选择性地控制清扫气体的流；以及多个插件，所述插件中的每一者能容纳在所述多个可调式气体出口的相应的可调式气体出口中，其中所述多个插件中的两个或更多者彼此不同，以及其中所述多个插件中的所述两个或更多者被配置成当操作期间所述衬底被所述沉积基座支撑并且所述清扫气体流动通过所述多个插件时，向所述衬底的所述第二表面提供所述清扫气体的不同局部流动模式，其中所述多个插件中的至少一者是插塞，以用于在所述清扫气体流动通过所述喷头组件时阻挡所述清扫气体流动穿过所述相应的可调式气体出口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 具有可调式气体出口的喷头
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