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申请/专利权人：宁波润华全芯微电子设备有限公司
摘要：本申请提供了一种用于匀胶显影设备的真空发生器组件及排气方法，其中，真空发生器组件包括：底座；通气口，通气口设置于底座侧面，包括：入气口，入气口设于底座一侧；第一排气口，第一排气口与入气口同侧；第二排气口，第二排气口与入气口另一侧；管道组件，管道组件连通通气口，包括：第一支路，第一支路连接第一排气口；电磁阀组件，电磁阀组件设置于底座上，包括：第一电磁阀，第一电磁阀设置于第一支路；发生器，发生器连接第一支路；其中，当发生器工作时，第二排气口吸入HDMS，当需要快速排出HDMS时，打开第一电磁阀，经过第一支路，通过第一排气口排出HDMS。本发明解决了如何解决HDMS排出不够及时，导致影响生产安全的问题。
主权项：1.一种用于匀胶显影设备的真空发生器组件，其特征在于，包括：底座；通气口，所述通气口设置于所述底座侧面，所述通气口包括：入气口、第一排气口和第二排气口，所述入气口设于所述底座一侧，所述第一排气口与所述入气口同侧，所述第二排气口与所述入气口另一侧；管道组件，所述管道组件连通所述通气口，所述管道组件包括第一支路，所述第一支路连接所述第一排气口；电磁阀组件，所述电磁阀组件设置于所述底座上，所述电磁阀组件包括第一电磁阀，所述第一电磁阀设置于所述第一支路；发生器，所述发生器连接所述第一支路；其中，当所述发生器工作时，所述第二排气口吸入HDMS；当需要快速排出HDMS时，打开所述第一电磁阀，以使HDMS经过所述第一支路，通过所述第一排气口排出HDMS。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波润华全芯微电子设备有限公司 一种用于匀胶显影设备的真空发生器组件及排气方法
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