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申请/专利权人：三星电子株式会社
摘要：一种电压发生器包括脉冲电路和斜坡电路。所述脉冲电路将三个不同电平的电压施加到输出端子，并且所述斜坡电路将斜坡电压施加到所述输出端子。所述斜坡电路包括用于从连接到所述输出端子的电容性负载中取出电流的电感器。
主权项：1.一种电压发生器，包括：脉冲电路，被配置为将三个不同电平的电压施加到输出端子；以及斜坡电路，被配置为将斜坡电压施加到所述输出端子，其中，所述斜坡电路包括被配置为从连接到所述输出端子的电容性负载中取出电流的电感器；其中，所述脉冲电路还包括所述输出端子和二极管，所述二极管每个包括连接到所述输出端子的阳极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星电子株式会社 电压发生器、电压波形发生器和半导体器件制造装置
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