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申请/专利权人：东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要：本发明提供了一种电子束量测设备的对中方法及其设备，对中方法包括以下步骤：依次使电子束与光阑、电子束与物镜、以及电子束与消像散器对中；对标准样品进行测量，以获取标准样品的测量图像；根据测量图像的剩余像散状态和聚焦状态，调节像散和焦距；将标准样品替换为正棱锥样品，并获取正棱锥样品的测量图像；调节电透镜电压和或电子枪的加速电压，直至测量图像中正棱锥样品的每条棱的长度相同。通过以上方法能够提供电子束量测设备的对中效率。
主权项：1.一种电子束量测设备的对中方法，其特征在于，包括以下步骤：依次使电子束与光阑106、电子束与物镜112以及电子束与消像散器109对中；对标准样品进行测量，以获取标准样品的测量图像；根据测量图像的剩余像散状态和聚焦状态，调节像散和焦距；将标准样品替换为正棱锥样品，并获取正棱锥样品的测量图像；调节电透镜电压和或电子枪101的加速电压，直至测量图像中正棱锥样品的每条棱的长度相同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司 电子束量测设备的对中方法及其设备
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