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基于微机电系统致动式垂直耦合器阵列的光束操纵系统 

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申请/专利权人:加利福尼亚大学董事会

摘要:本发明揭示一种集成光学件MEMS致动式光束操纵系统,其中所述光束操纵系统包含:透镜;及可编程垂直耦合器阵列,其具有交换网络及垂直耦合器阵列,其中所述交换网络可供能给所述垂直耦合器,使得其有效地将光发射到自由空间中。所述透镜准直从所述经供能垂直耦合器接收的所述光及沿着由所述经供能垂直耦合器在所述垂直耦合器阵列内的位置确定的传播方向导引输出光束。在一些实施例中,所述垂直耦合器经配置以校正所述透镜的像差。在一些实施例中,多于一个垂直耦合器可经供能以使能够操纵多个输出光束。在一些实施例中,所述交换网络是无阻挡的。

主权项:1.一种装置,其包括:基板;设置在基板上的第一行波导;以及第一垂直耦合器,其包括:i具有第一可移动端和第一固定端的第一耦合器波导,所述第一固定端包括相对于基板不可移动的第一垂直耦合元件,所述第一垂直耦合元件配置为将从第一耦合器波导接收的光学能量发射到自由空间中;以及ii第一致动器,所述第一致动器与所述第一耦合器波导可操作地耦合,并且配置为将所述第一可移动端在基板上方的第一高度和基板上方的第二高度之间移动,第一可移动端在第一高度处不与所述第一行波导光学耦合,第一可移动端在第二高度处与所述第一行波导光学耦合。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 加利福尼亚大学董事会 基于微机电系统致动式垂直耦合器阵列的光束操纵系统

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