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申请/专利权人：中国科学院半导体研究所;北京智芯微电子科技有限公司;国网江苏省电力有限公司南京供电分公司
摘要：本发明提供一种基于连续域束缚态超表面的超声波传感芯片，包括：衬底层；第一包覆层，覆盖所述衬底层；连续域束缚态超表面层，覆盖所述第一包覆层，所述连续域束缚态超表面被配置为感应光场；以及第二包覆层，覆盖所述连续域束缚态超表面层，所述第二包覆层被配置为感应和放大超声波信号；其中，所述连续域束缚态超表面层具有朝向所述第二包覆层的超表面，所述超表面形成有微腔结构，所述连续域束缚态超表面层还被配置为通过所述微腔结构，在所述超声波信号的作用下对所述光场进行调制。本发明能够实现高灵敏度和高分辨率的超声波检测，可广泛应用于电力系统中的设备监测和故障检测，以及医疗诊断、工业检测和科学研究等领域。
主权项：1.一种基于连续域束缚态超表面的超声波传感芯片，其特征在于，包括：衬底层；第一包覆层，覆盖所述衬底层；连续域束缚态超表面层，覆盖所述第一包覆层，所述连续域束缚态超表面被配置为感应光场；以及第二包覆层，覆盖所述连续域束缚态超表面层，所述第二包覆层被配置为感应和放大超声波信号；其中，所述连续域束缚态超表面层具有朝向所述第二包覆层的超表面，所述超表面形成有微腔结构，所述连续域束缚态超表面层还被配置为通过所述微腔结构，在所述超声波信号的作用下对所述光场进行调制。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院半导体研究所 北京智芯微电子科技有限公司 国网江苏省电力有限公司南京供电分公司 基于连续域束缚态超表面的超声波传感芯片
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