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申请/专利权人：合肥工业大学
摘要：本发明公开了一种原位痕量元素及同位素分析装置的异常监控优化系统，包括：优化监管模块以及与优化监管模块分别连接的钳形交流霍尔互感器、压力传感器、电磁闸阀、电磁流量计和双向三通阀；钳形交流霍尔互感器安装于配电箱至电感耦合等离子质谱仪的主电源回路中，电磁闸阀和电磁流量计采用串联整合的方式嵌入气体管理组件的载气输送管道；优化监管模块对收集到的电流、气体压力及流量数据进行深度分析处理，进行对联机设备的异常状况监测和性能优化。其通过高度集成化的设计、实时的数据处理能力、灵活的控制策略以及高效的故障诊断机制，优化了联机设备的能效管理，提升了维护便利性，实现了联机设备的高效与稳定运行。
主权项：1.一种原位痕量元素及同位素分析装置的异常监控优化系统，应用于激光剥蚀装置、电感耦合等离子质谱仪及气体管理组件构成的联机设备，其特征在于，包括：优化监管模块以及与所述优化监管模块分别连接的钳形交流霍尔互感器、压力传感器、电磁闸阀、电磁流量计和双向三通阀；所述钳形交流霍尔互感器安装于配电箱至电感耦合等离子质谱仪的主电源回路中，用于采集主电源回路中的电流信息；所述压力传感器接入气体管理组件内部的等离子气体通道，用于采集等离子气体通道中的气体压力信息；所述电磁闸阀和电磁流量计采用串联整合的方式嵌入气体管理组件的载气输送管道，用于调控载气流量并进行载气流量信息采集；所述双向三通阀安装在激光剥蚀装置的剥蚀室排放口，用于切换气流方向；所述优化监管模块对收集到的电流、气体压力及流量数据进行深度分析处理，进行对所述联机设备的异常状况监测和性能优化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥工业大学 一种原位痕量元素及同位素分析装置的异常监控优化系统
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