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申请/专利权人：冠礼控制科技(上海)有限公司
摘要：本申请涉及一种半导体用高纯化学品自动取样分析方法及系统，通过将取样目标的采集时间设定为目标时间区域，并将其划分为n个目标时间子区域，在n个目标时间子区域内采集取样目标的基础数据、自动取样数据及环境数据，并依次计算出采集取样目标的基础特征值、自动取样效能系数及环境影响系数，再根据基础特征值、自动取样效能系数及环境影响系数计算出取样目标的综合优化指数，最后依次用n个目标时间子区域内取样目标的综合优化指数与设定的综合优化指数目标值进行对比，以判断n个目标时间子区域内取样目标是否达标，通过采集各目标时间子区域的取样目标的数据，并增加了取样过程和环境因素对分析结果的影响，提高了分析结果的准确性和可靠性。
主权项：1.一种半导体用高纯化学品自动取样分析方法，其特征在于，包括：设定取样目标的取样时间为目标时间区域，将所述目标时间区域等分为n个目标时间子区域i，其中，i为目标时间子区域的排列序号，i∈1,2,3…n-1,n；依次采集n个所述目标时间子区域i内的所述取样目标的基础数据、自动取样数据以及环境数据；建立基础数据数学模型、自动取样数据数学模型以及环境数据数学模型，并分别利用基础数据数学模型、自动取样数据数学模型以及环境数据数学模型计算n个所述目标时间子区域i内所述取样目标的基础特征值、自动取样效能系数以及环境影响系数；建立综合分析数学模型，并根据获得的所述基础特征值、所述自动取样效能系数以及所述环境影响系数，计算n个所述目标时间子区域i内的所述取样目标的综合优化指数；设定综合优化指数目标值，根据所述综合优化指数目标值，依次判断n个所述目标时间子区域i内的所述取样目标的综合优化指数是否达标，并输出判断结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 冠礼控制科技(上海)有限公司 一种半导体用高纯化学品自动取样分析方法及系统
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