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申请/专利权人：上海哥瑞利软件股份有限公司
摘要：本发明提供一种半导体12寸MES系统自动调整光刻机Chuck参数的方法，其特征在于：设置APC系统和EAP系统，APC系统与MES系统通信连接，EAP系统与联机设备、ADICD设备、MES系统、APC系统分别通信连接；联机设备包括光刻机；该方法包括以下步骤：1光刻机通过MES系统和APC系统自动获取chuckleveling参数，并根据所获取的chuckleveling参数自动调整chuck；2晶圆曝光后，通过EAP系统自动反馈量测数据至APC系统；3APC系统根据所反馈的量测数据自动计算chucklevelingoffset，并将计算调整后的chuck参数反馈到MES系统。
主权项：1.一种半导体12寸MES系统自动调整光刻机Chuck参数的方法，其特征在于：设置APC系统和EAP系统，所述APC系统与MES系统通信连接，所述EAP系统联机光刻设备、ADICD量测设备、所述MES系统、所述APC系统分别通信连接；该方法包括以下步骤：1光刻机通过所述MES系统和所述APC系统自动获取chuckleveling参数，并根据所获取的chuckleveling参数自动调整chuck；2晶圆曝光后，通过所述ADICD量测设备由所述EAP系统自动反馈量测数据至所述APC系统；3所述APC系统根据所反馈的量测数据自动计算chucklevelingoffset，并将计算调整后的chuck参数反馈到所述MES系统。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海哥瑞利软件股份有限公司 一种半导体12寸MES系统自动调整光刻机Chuck参数的方法
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