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一种Micro MIP器件制备方法 

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申请/专利权人:山西高科华烨电子集团有限公司

摘要:本发明公开了一种MicroMIP器件制备方法,该方法包括以下步骤:S1.准备基材:选用合适的载板、胶材、COW等制备原料;S2.载板键合:COW与载板在胶材的作用下,通过键合机键合在一起;S3.激光剥离:把键合好的COW和载板通过激光剥离的方式,去掉原载板,单色芯片保留至新载板;S4.巨量转移:通过巨量转移设备,将LED三色芯片转移到同一个载板上;S5.金属线路制备:在载板上进行MIP金属焊盘的制备;S6.封装切割:使用封装胶水对载板进行封装,S7.表面处理:对制备的MicroMIP器件表面进行处理,保证导电性能等;S8.质量检测:对封装好的MicroMIP器件进行质量检测。通过本发明的制备技术可以简化制备工艺流程,通过引入新的制备工艺和技术手段,减少制备步骤和工艺复杂度,提高生产效率,采用巨量转移技术和自动化设备,实现高密度的芯片集成和自动化生产,降低制造成本,使用新型的封装胶材料,提高器件的可靠性和稳定性,延长使用寿命。

主权项:1.一种MicroMIP器件制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:S1.准备基材:选用合适的载板、胶材、COW等制备原料;S2.载板键合:COW与载板在胶材的作用下,通过键合机键合在一起;S3.激光剥离:把键合好的COW和载板通过激光剥离的方式,去掉原载板,单色芯片保留至新载板;S4.巨量转移:将三色LED芯片转移到同一个载板上;S5.金属线路制备:在载板上进行MIP金属焊盘的制备;S6.封装切割:使用封装胶水对载板进行封装;S7.表面处理:对制备的MicroMIP器件表面进行处理,保证导电性能等;S8.质量检测:对封装好的MicroMIP器件进行质量检测。

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权利要求:

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