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申请/专利权人：MSA技术有限公司
摘要：一种用于检测来自气体环境的质量沉积的传感器系统，包括第一传感器元件，第一传感器元件包括第一导电加热部件和第一导电加热部件上的第一界面结构。传感器系统还包括与第一导电加热部件连接的电子电路。电子电路被配置为向第一导电加热部件提供能量以加热第一传感器元件并测量第一传感器元件的热力学响应，热力学响应随着第一界面结构上一种或多种组分的质量沉积而变化。
主权项：1.一种用于检测来自气体环境的质量沉积的传感器系统，包括：第一传感器元件，所述第一传感器元件包括第一导电加热部件和所述第一导电加热部件上的第一界面结构；第二传感器元件，所述第二传感器元件包括第二导电加热部件和所述第二导电加热部件上的第二界面结构；以及与所述第一导电加热部件和所述第二导电加热部件连接的电子电路，其中，所述电子电路被配置为向所述第一导电加热部件提供能量以加热所述第一传感器元件，将所述第二传感器元件作为至少所述第一传感器元件的补偿元件操作以补偿环境条件，并且通过测量所述第一导电加热部件的电特性来测量所述第一传感器元件的热力学响应，所述热力学响应随着所述第一界面结构上一种或多种组分的质量沉积而变化，其中，所述第二传感器元件用预定量的氧化有机硅化合物处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： MSA技术有限公司 用于沉积在表面上的源于气态基质的组分的传感器
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