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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：集成粘合系统中用于优化管芯与基板之间的粘合对准的方法、装置和系统包括：使用集成粘合系统的粘合器，使用预设的对准设置将第一管芯粘合至第一基板；使用集成粘合系统的传输臂机器人，将经粘合的管芯‑基板组合传输到集成粘合系统的机载检验工具；在机载检验工具处，检验经粘合的管芯‑基板组合中的管芯与基板之间的粘合的对准，以确定错位测量，所述错位测量代表经粘合的管芯‑基板组合中的管芯与基板之间的粘合的错位；使用机器学习过程，根据错位测量确定要传达给粘合器的校正测量；以及在粘合器中，使用经确定的基于机器学习的校正测量将不同的管芯粘合至不同的基板。
主权项：1.一种在集成粘合系统中用于优化管芯与基板之间的粘合对准的方法，所述方法包括以下步骤：使用所述集成粘合系统的粘合器，使用预设的对准设置将第一管芯粘合至第一基板；使用所述集成粘合系统的传输机器人，将经粘合的管芯-基板组合传输到所述集成粘合系统的机载检验工具；在所述机载检验工具处，检验所述经粘合的管芯-基板组合中的所述管芯与所述基板之间的所述粘合的对准，以确定错位测量，所述错位测量代表所述经粘合的管芯-基板组合中的所述管芯与所述基板之间的所述粘合的错位；使用机器学习过程，根据所述错位测量确定要传达给所述粘合器的校正测量；以及在所述粘合器中，使用经确定的基于机器学习的校正测量将不同的管芯粘合至不同的基板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于对芯片到晶片对准准确度进行运行间优化的机器学习和集成计量
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