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一种调控Cr成分促进α-氧化铝形成提高抗氧化性方法 

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申请/专利权人:南昌航空大学

摘要:本发明一种调控Cr成分促进α‑氧化铝形成提高抗氧化性方法采用磁控溅射制备与靶材成分相同的涂层,涂层和基体成分均为NiCrAl合金,通过调控铬成分及涂层晶粒度大小的方法提高合金的抗高温氧化性能与热稳定性。本发明利用磁控溅射技术,通过调控涂层的铬成分,制得具有纳米晶结构的MCrAlY涂层,可实现在较低温度的工况环境下,涂层能直接生长α‑Al2O3,且涂层与基体结合力强,表面光洁度高,显著提高了涂层的抗高温氧化性与热稳定性能。

主权项:1.一种调控Cr成分促进α-氧化铝形成提高抗氧化性方法,其特征在于:所述的方法采用磁控溅射制备与靶材成分相同的涂层,涂层和基体成分均为NiCrAl合金,通过调控Cr成分及涂层晶粒度大小的方法提高合金的抗高温氧化性能与热稳定性;具体步骤如下:步骤1:靶材预处理选用镍铬铝合金Ni-30Cr-5Al为靶材原材料,将磁控溅射设备预热1.5h,抽真空至5.0×10-3-7.0×10-3Pa后,通入氩气,设置偏压为-400V,电流为3A,对靶材进行溅射去除表面的氧化物后备用;步骤2:基材预处理选用镍铬铝合金Ni-30Cr-5Al为基材原材料,用80#至600#的砂纸对基材进行打磨后,用体积比为1∶4的丙酮和乙醇混合溶剂超声清洗20min,再烘干备用;步骤3:涂层的制备靶材与基材置于磁控溅射设备中,并控制两者的间距为15cm,设置溅射电流为3A,偏压为-200V,系统基本压力为5.0×10-3-7.0×10-3Pa,温度从室温升到150-220℃,沉积速率为5μmh,溅射时间3h,得到抗氧化性能高的涂层。

全文数据:

权利要求:

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