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一种基于迭代补偿原理的环形基准面研磨加工方法 

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申请/专利权人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

摘要:本发明公开了一种基于迭代补偿原理的环形基准面研磨加工方法,属于光学仪器中高精度结构件的研磨加工方法技术领域。本加工方法通过提出使用两块研磨盘,一凸一凹,环形基准面交替在两块表面上研磨,补偿由于研磨面形造成的高低差,形成高精度的研磨基准面。

主权项:1.一种基于迭代补偿原理的环形基准面研磨加工方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:步骤一:首先,选择一块凸面研磨盘和一块凹面研磨盘,将初始研磨基准面进入凸面研磨盘或者凹面研磨盘进行研磨加工,直至研磨基准面全部表面研磨完全,且将所述研磨基准面划多个同心环带,环带宽2-3mm,当检测结果显示每个环带的平面度都优于平面度指标要求,则认为此阶段的研磨结束;研磨过程中检测研磨表面,并记录研磨基准面在研磨盘上的滑动距离L1,对研磨后基准面表面进行检测,确定基准面内外环边缘已经形成稳定均匀的高低差△h1,规定△h1为正;步骤二:将经步骤一研磨后、高低差△h1为正的研磨基准面放入第二块研磨盘上进行研磨加工,直至研磨基准面全部表面研磨完全,且将所述研磨基准面划多个同心环带,环带宽2-3mm,当检测结果显示每个环带的平面度都优于平面度指标要求,则认为此阶段的研磨结束;记录所述研磨基准面在第二块研磨盘上的滑动距离L2,对研磨后基准面表面进行检测,确定基准面内外环边缘已经形成稳定均匀的高低差△h2;步骤三:判断△h2是否处于指标要求误差范围内,若是,则结束研磨,若否,则判断△h2是正是负,若△h2为正,则将研磨基准面放在第二块研磨盘上进行研磨加工,直至研磨基准面全部表面研磨完全为止,若△h2为负,则将研磨基准面放在第一块研磨盘上进行研磨加工,每一研磨阶段结束后进行检测,直至研磨基准面内外边缘形成稳定均匀的高低差处于指标要求误差范围内。

全文数据:

权利要求:

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